SJ 20641-1997 红外探测器用锑化铟单晶规范

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中华人民共和国电子行业军用标准,FL 5971 SJ 20641-97,红外探测器用锚化锢单晶规范,Specification for indium antimonide single,crystals for used in infrared detector,1997.06J 7 发布1997-10-01 实施,中华人民共和国电子工业部批准,中华人民共和国电子行业军用标准,红外探测器用镖化锢单晶规范SJ 20641-97,Specification for indium antimonide single,crystals for used in infrared detector,范围,1.I 主题内容,本规范规定了红外探测器用掺杂与非掺杂锦化锢单晶的要求,质量保证规定,交货准备和,其他要求,1.2 适用范围,本规范适用于直接法制备供红外探测器用镖化锢单晶,1.3 分类,1.3.1 规格,按导电类型分为N型和P型镭化锢单晶,1.3.2 型号,镭化锢单晶型号按GJB 11296 - 89《红外探测材料型号命名方法》规定,2引用文件,GB 11296-89 红外探测材料型号命名方法,GB 11297.6-89,GB 11297.7-89,GJB 1209-91,锚化锢单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法,锦化锢单晶电阻率及霍耳系数的测试方法,微电路生产线认证用试验方法和程序,ZBN 30003 - 88 光学零件包装,3要求,3.I 合格鉴定,按本规范提交的产品应是经鉴定合格或定型批准的产品,3.2 规格尺寸,単晶的规格尺寸见表1,中华人民共和国电子工业部1997-06-17发布1997-10-01 实施,—1 —,SJ 20641-97,表1,型 号生长方向直径(短轴),mm,长度(有效),mm,IS [111] >20 >30,IS1 [211],IS3 [111] ユ25 >30,[211],IS4 [211] >25 >30,3.3 宏观质量,单晶表面无裂纹、空洞和李晶线,3.4 晶面与定向,晶面为(111)或(211),晶向偏差4±1,3.5 位错腐蚀坑密度(EPD),EPD<100 个/cn?,3.6 电学特性,单晶的电学特性见表2;,表2单晶电学特性(77K),型 号导电类型掺杂剂载流子浓度,1/cm3,霍耳迁移率,cm2/vs,电阻率,(1, cm,1S N 非掺杂< 3 X 1014 > 5 X IO5 )3 X 10-2,IS1 P Zn < 1 x IO16 > 5 x 103 0.2 .1.3,IS3 P Ge < 1 x IO16 5 x 103 0.2 .I.3,IS4 N Te 3 X IO14 .2.0 x IO15 》1 x 1〇5 4.4 X IO-2 .,1.5 x IO-1,4质量保证规定,4.I 检验责任,除合同或订单中另有规定外,承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时,订购方,或上级鉴定机构有权对本规范所述的任一检验项目进行检査,4.1.1 合格责任,所有产品必须符合本规范第3章和第5章的所有要求。本规范中规定的所有检验应成为,承制方整个检验体系或质量大纲的ー个组成部分。若合同中包括本规范未规定的检验要求,承制方还应保证所提交验收的产品符合合同要求。质量一致性检验不允许提交明知有缺陷的,产品,也不能要求订购方接收有缺陷的产品,4.2 检验分类,本规范规定的检验分为:,a.鉴定检验;,—2,SJ 20641-97,b.质量一致性检验;,4.3 环境条件,环境温度:15.35ヒ;,相对湿度:45%~75%;,大气压カ:86 ~ 106kpa,4.4 鉴定检验,鉴定检验在产品正式投产前进行,当原材料或制造工艺发生重大变化,有可能影响鉴定检,验结果时,也应进行鉴定检验,4.4.1 检验地点,鉴定检验应在有关主管部门认可的试验室进行,4.4.2 检验样品,样品应为生产中通常使用的设备和工艺制造的产品,鉴定检验的样品应从提交的鉴定检,验样品总数中随机抽取,4.4.3 检验,鉴定检验的项目,检验顺序,受试样品数量及允许不合格品数应按表3的规定,表3鉴定检验,序号检验项目要求的章条号检验方法章条号受试样品数量允许不合格品数,1 规格尺寸3.2 4.7.1,3 0,2 宏观质量3.3 4.7.2,3 晶面与定向3.4 4.7.4,4 位错腐蚀坑密度3.5 4.7.5,5 电学特性3.6 4.7.3,4.4.4 不合格判定,若受试样品通过表3中列举的各项检査或检验,则鉴定检验合格;若其中一项或ー项以上,检验超过表3规定的允许不合格品数,则不授予鉴定合格资格,4.4.5 鉴定合格资格的保持,鉴定合格资格是通过质量一致性检验来保持,根据需要,应由承制方每年一次向上级鉴定,机构提交质量一致性检验记录的副本,4.5 质量一致性检验,4.5.1 逐批检验,对睇化锢单晶以根为单位进行100%检验,检验项目和顺序按表4规定进行,表4逐批检验,检 验 项 目要求章条号检验方法章条号,规格尺寸3.2 4.7.1,宏观质量3.3 4.7.2,位错腐蚀坑密度3.5 4.7.5,电学特性3.6 4.7.3,—3 —,SJ 20641-97,4.5.2 周期检验,周期检验应按表5规定进行;周期检验的样品数量为二根;周期检验每年进行ー次,表5周期检验,检 驗 项 目要求章条号检验方法章条号,晶面与定向3.4 4.7.4,包装5.1 4.6,4.5.3 不合格,逐批检验不合格的产品应剔除后交货;周期检验不合格,承制方应根据对产品质量的保,证,加倍提交样品进行重新检验,并通知订……

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